磁控濺射儀 型號:LH12-SC-SU-I
參數 指標石英倉尺寸 150X120MM樣品臺尺寸 70mm濺射面積 50mm高真空度 5pa可通氣體 氬氣,氮氣等惰性氣體高濺射速度 8nm/min整機功率 200W機器尺寸 360(W)X310(D)X150mm(H)
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